267 Made in 种花（3 / 3）

设备，就可以先用机器抛光个大概，再这样一层一层原子轰炸下去，那么，什么精度达不到？

有这样的神器，光刻机量产，再也不是遥远的梦！

找到这种设备的资料，何苦马上调到桌面，然后拔下计算机的存储卡，去往会议室。

进入会议室之后，何苦坐在中央位置，通过会议室的计算机，将资料投影在背后的荧幕上。

没过多久，华老研发团队挨个入场。

在相互问过好之后，何苦言简意赅，直奔主题，“诸位，光刻机的进展如何？抛开光刻镜头之外，还有别的什么问题难以解决吗？”

“没有了，目前最棘手的问题就是光刻镜头。”华老看了眼众人，无奈的道：“镜头要求的精度减值太高了，我们找了很多单位，都找不到能加工这种材料的老师傅。”

何苦点了点头，一微米的光刻机用的光源相对较为容易搞定，整套设备的零件倒不至于用到十多万零件，一万出头足矣，而且还有部分资料，相对较为简单。

但就是镜头这个东西难搞，不过很快，这也不是问题了。

在众人沉默当中，很快，何苦将资料投影到荧幕上，缓缓说道：“长话短说，橡胶圈的问题相对简单，很容易解决，但是光刻机镜头的事情，是一个很复杂的事情！我需要大家的协助！”

“大家请看，离子束刻蚀机！我想了三天三夜，最后发现，想要稳定制作光刻镜头，非它不可！”

此言一出，众人顿时疑惑了起来，这种东西，还是第一次听说。

“这又是什么设备？原理是什么？能做什么？”

“这种东西能加工出我们需要的镜头吗？”

面对众人的问题，何苦缓缓说道：“完全可以！而且，离子束刻蚀的原理也相对简单，利用等离子体产生的低能离子東轰击需要去除的材料，通过物理溅射加以逸除。只要这台设备制造完成，今后，我们只需要将半成品镜头交给它完成最终处理就可以了！这是我们现在获取光刻镜头的最优解！”

“大家请看，这台设备由离子源、萃取栅系统和反应腔3个主要部分组成。离子源通入氢气或其他稀有气体产生低温等离子体，从而提供低能量离子。”

“何总工，冒昧问下，我们如何的获取离子？”

“可以通过电子回旋微波共振等离子体技术来获取较高密度离子，这个技术我早就想好了，等下细说。”

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